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説明
最小限の切り溝幅での高速、チップフリーのレーザー スクライビングにより、基板の歩留まりと精度を最大化します。{{1}
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材質の適合性
アルミナ (Al₂O₃)、窒化アルミニウム (AlN)、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、メタライズドセラミックス、HTCC/LTCC/DBC/DPC 基板、セラミックコーティング付きポリマーセパレーター。
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主な利点
- カスタムレーザーヘッドを備えたファイバーパルスレーザーでビーム径5μmを実現
- 狭いカーフと高い基板歩留まり
- 最大 2500 mm/min の高速スクライビング-
- CCD ビジョン システムは、金属化セラミックスを正確にスクライビングするために表面を事前にスキャンします。{0}
- XY雲台位置決め精度 ±3μm以下
- 高度な視覚的位置決めをサポート: 十字線、実線/中空円、L 字型角度、画像特徴点
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機械の紹介
- コア設計:ファイバー パルス レーザー、カスタム レーザー ヘッド、リニア モーター XY プラットフォーム、CCD ビジョン プレスキャン、精密位置決めシステム
- 精度と安定性:複雑な基板上でもチッピングゼロと安定したスクライビング品質を保証
- 電源オプション:150W レーザー (特定の基板の厚さと材料に合わせてカスタマイズ可能)
- ソフトウェア:さまざまな素材タイプの CAD インポートと視覚的な位置決めをサポート
技術データ
アイテム
パラメータ
レーザー波長
1060-1080nm
レーザー出力パワー
150W(オプション)
最大切断範囲
300*300mm
切断厚さ
0.2~2mm(材質による)
X/Y軸の繰り返し位置決め精度
±3µm
処理速度
0~2500mm/分
最大加速度
1.0G
ワークテーブルの精度
0.015mm以下
送信モード
リニアモーター +0.1µm の格子定規
マシン全体の電力 (ファンなし)
6KW以下
機械全体の総重量
約1700KG
外形寸法(長さ*幅*高さ)
1500*1400*1800mm(参考)
コンポーネントのアプリケーション シナリオ
1. スクライビングと分割耐摩耗性シール-窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニアシールリング、ベアリングレース、ハイブリッドセラミックベアリング
2. セラミック基板の成形半導体および高温炉用のアルミナ/窒化アルミニウム加熱プレートおよびサセプタ{0}}
3. 特殊セラミック切削工具の基板成形精密切削工具用のジルコニアセラミックインサートとブランク
4. セラミックパッケージ基板(HTCC/LTCC/DBC/DPC)高温/低温-焼成セラミック モジュール、DBC/DPC 基板-
5. リチウム-イオン電池の製造アルミナ/ベーマイトセラミック層でコーティングされたポリマーセパレーター
6. 水素エネルギーと燃料電池SOFC 用イットリウム-安定化ジルコニア (YSZ) 電解質および電極シート
OEM およびカスタマイズのオプション
- レーザーパワー、ビーム直径、XYプラットフォーム構成は、さまざまな基板材料と厚さに合わせてカスタマイズ可能
- HTCC/LTCC、メタライズド セラミック、またはポリマー セラミック基板のソフトウェア パラメータ調整
- 高収率の生産とバッチの一貫性を実現するためのカスタマイズされたソリューション-
品質管理
- CCD ビジョン システムによる基板の事前スキャン{0}による位置合わせと欠陥検出
- 高品質の基板歩留まりを実現する-ゼロチッピング処理-
- -スクライビングとカットのプロセスをリアルタイムでモニタリング
- -半導体およびエネルギーグレードのアプリケーションで完全なプロセス データのトレーサビリティが利用可能-
アフターサービス-
- オンサイトまたはリモートでの設置と試運転-
- メンテナンスと最適化されたワークフローのためのオペレータートレーニング
- 技術サポートとトラブルシューティング
- スペアパーツと長期メンテナンス サービス-
よくある質問
Q1: この機械はメタライズドセラミックスや薄い基板を加工できますか?
A1: はい、CCD ビジョン システムは、メタライズド セラミックスや最大 0.2 ~ 2 mm の薄い基板上に正確なスクライビングを保証します。
Q2: XY位置決め精度はどのくらいですか?
A2: XY プラットフォームは ±3µm 以下の精度を提供し、チップ-のないスクライビングを保証します。
Q3: 太陽電池や燃料電池などの特殊基板にも対応できますか?
A3: はい、太陽電池とSOFC用のYSZ電解質/電極シートをサポートしています。
Q4: レーザー出力は調整可能ですか?
A4: はい、150W 標準で、材料の厚さと種類に応じてカスタマイズ可能なオプションがあります。
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