半導体部品レーザー切断機

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半導体製造装置の精密セラミックス、特殊金属、複合材料などのキーコンポーネントに適したレーザー加工機です。ワンストップのレーザー精密加工ソリューションを提供します。-
カテゴリー
Si₃N₄ レーザー切断機
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説明

 

製品説明

 

 

半導体製造装置の精密セラミックス、特殊金属、複合材料などのキーコンポーネントに適したレーザー加工機です。ワンストップのレーザー精密加工ソリューションを提供します。-

 

設備紹介

 

 

この半導体レーザー切断機は、高度なファイバーレーザーを使用しており、高いビーム品質、コンパクトなサイズ、高い光電変換効率を備えています。磁気浮上輸入リニアモーター、0.5µm の高精度格子定規、および完全閉ループバス CNC システムを備えており、高速応答速度、高精度、メンテナンスの手間がかからず、長期使用に適しています。-

 

私たちの利点

 

 

完全な-チェーン独立制御:

当社はチェーン全体を独自に研究、開発、生産、加工し、機器の品質を正確に管理し、業界平均と比較して納期サイクルを 20% ~ 30% 短縮します。

01

カスタマイズされた技術ソリューション:

さまざまな材料処理のサブシナリオに焦点を当て、「研究開発 + 生産 + プロセス」を包括するワンストップのカスタマイズされたソリューションを提供します。{0}{1}

02

自社開発のコア テクノロジー-:

当社はビーム整形や高精度位置決めなどのコア技術を独自に開発しており、その結果、高い処理効率、低エネルギー消費、高いパフォーマンスと費用対効果の組み合わせが実現されています。{0}{1}

03

フルライフサイクルサービス:

当社の研究開発、生産、加工チームはアフターサービスに直接接続されており、技術トレーニングやプロセス全体にわたるプロセスの最適化など、24 時間年中無休のサポートを提供しています。{0}

04

プロセス検証機能:

当社独自の加工ワークショップでは、無料の入荷材料テストをサポートし、プロセスパラメータのレポートとサンプルを提供することで、お客様の調達の試行錯誤コストを大幅に削減できます。

05

 

技術データ

 

 

アイテム

パラメータ

レーザー波長

1060-1080nm

レーザー出力パワー

1000W(オプション)

最大切断範囲

600*600mm

切断厚さ

0.2~10mm(材質による)

X/Y軸の繰り返し位置決め精度

±5µm

処理速度

0~3000mm/分

最大加速度

1.2G

ワークテーブルの精度

0.015mm以下

送信モード

輸入リニアモーター +0.1µm 格子定規

マシン全体の電力 (ファンなし)

7KW以下

機械全体の総重量

約1800KG

外形寸法(長さ*幅*高さ)

1800*1470*1890mm

(参考)

 

アプリケーションシナリオ

 

 

1. セラミック基板の精密加工:

微細-アレイと微細-溝加工

2. 半導体パッケージングセラミック部品の機械加工:

パッケージ化された半導体デバイスの安定性を確保するための、セラミックフェルール、パッケージングスリーブ、その他の半導体接続およびパッケージングセラミックコンポーネントの精密エッチング

3. 半導体補助セラミック部品の加工:

窒化ケイ素セラミック センサー ハウジングの微細穴加工により、センサーの信号取得精度を確保します。-

 

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