製品説明
半導体製造装置の精密セラミックス、特殊金属、複合材料などのキーコンポーネントに適したレーザー加工機です。ワンストップのレーザー精密加工ソリューションを提供します。-
設備紹介
この半導体レーザー切断機は、高度なファイバーレーザーを使用しており、高いビーム品質、コンパクトなサイズ、高い光電変換効率を備えています。磁気浮上輸入リニアモーター、0.5µm の高精度格子定規、および完全閉ループバス CNC システムを備えており、高速応答速度、高精度、メンテナンスの手間がかからず、長期使用に適しています。-
私たちの利点
完全な-チェーン独立制御:
当社はチェーン全体を独自に研究、開発、生産、加工し、機器の品質を正確に管理し、業界平均と比較して納期サイクルを 20% ~ 30% 短縮します。
01
カスタマイズされた技術ソリューション:
さまざまな材料処理のサブシナリオに焦点を当て、「研究開発 + 生産 + プロセス」を包括するワンストップのカスタマイズされたソリューションを提供します。{0}{1}
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自社開発のコア テクノロジー-:
当社はビーム整形や高精度位置決めなどのコア技術を独自に開発しており、その結果、高い処理効率、低エネルギー消費、高いパフォーマンスと費用対効果の組み合わせが実現されています。{0}{1}
03
フルライフサイクルサービス:
当社の研究開発、生産、加工チームはアフターサービスに直接接続されており、技術トレーニングやプロセス全体にわたるプロセスの最適化など、24 時間年中無休のサポートを提供しています。{0}
04
プロセス検証機能:
当社独自の加工ワークショップでは、無料の入荷材料テストをサポートし、プロセスパラメータのレポートとサンプルを提供することで、お客様の調達の試行錯誤コストを大幅に削減できます。
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技術データ
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アイテム |
パラメータ |
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レーザー波長 |
1060-1080nm |
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レーザー出力パワー |
1000W(オプション) |
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最大切断範囲 |
600*600mm |
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切断厚さ |
0.2~10mm(材質による) |
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X/Y軸の繰り返し位置決め精度 |
±5µm |
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処理速度 |
0~3000mm/分 |
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最大加速度 |
1.2G |
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ワークテーブルの精度 |
0.015mm以下 |
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送信モード |
輸入リニアモーター +0.1µm 格子定規 |
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マシン全体の電力 (ファンなし) |
7KW以下 |
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機械全体の総重量 |
約1800KG |
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外形寸法(長さ*幅*高さ) |
1800*1470*1890mm (参考) |
アプリケーションシナリオ
1. セラミック基板の精密加工:
微細-アレイと微細-溝加工
2. 半導体パッケージングセラミック部品の機械加工:
パッケージ化された半導体デバイスの安定性を確保するための、セラミックフェルール、パッケージングスリーブ、その他の半導体接続およびパッケージングセラミックコンポーネントの精密エッチング
窒化ケイ素セラミック センサー ハウジングの微細穴加工により、センサーの信号取得精度を確保します。-
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