半導体部品レーザー切断機

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半導体部品レーザー切断機
詳細
半導体レーザー切断機は、半導体製造装置で使用されるセラミックス、特殊金属、複合材料で作られた主要コンポーネントの精密加工用に設計されています。微細穴加工、微細溝-、輪郭切断、高精度材料除去のためのワンストップ ソリューションを提供します。-
カテゴリー
Si₃N₄ レーザー切断機
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説明
  • 説明

    優れたビーム品質、コンパクトな設計、高い光電変換効率を備えた高性能ファイバー レーザー。- -半導体製造部品向けの高精度レーザー切断ソリューションts.適合材質:アルミナ、窒化ケイ素、ジルコニア、複合セラミックス、特殊金属、ハイブリッド材料。

  • 主な利点
    • フルチェーンの独立した制御により品質を保証し、納品を 20~30% 高速化します。{0}
    • 研究開発、生産、加工のためのカスタマイズ可能な技術ソリューション
    • 独自のコア技術: ビーム整形、高精度位置決め、高効率、低エネルギー消費
    • フルライフサイクルサービス: 年中無休のテクニカルサポート、トレーニング、プロセスの最適化
    • プロセス検証: 入荷した材料のテスト、サンプル処理、パラメータレポート

設備紹介

 

機械および制御設計:

磁気浮上輸入リニアモーター

高さ 0.5µm- の精度の格子定規

完全閉ループバス CNC システム-

速い応答速度、高精度、低メンテナンス

レーザー出力:最大1000W(オプション)

ソフトウェアの機能:微細形状加工のための CAD インポートと正確なモーション制御をサポート-

 

技術データ

 

 

アイテム

パラメータ

レーザー波長

1060-1080nm

レーザー出力パワー

1000W(オプション)

最大切断範囲

600*600mm

切断厚さ

0.2~10mm(材質による)

X/Y軸の繰り返し位置決め精度

±5µm

処理速度

0~3000mm/分

最大加速度

1.2G

ワークテーブルの精度

0.015mm以下

送信モード

輸入リニアモーター +0.1µm 格子定規

マシン全体の電力 (ファンなし)

7KW以下

機械全体の総重量

約1800KG

外形寸法(長さ*幅*高さ)

1800*1470*1890mm

(参考)

 

アプリケーションシナリオ

 

 

1. セラミック基板の精密加工

微細-配列、微細-溝、輪郭形成

2. 半導体パッケージングセラミック部品

セラミックフェルール、パッケージングスリーブ、および接続コンポーネントのエッチング

パッケージ化された半導体デバイスの安定性と信頼性を確保

3. 半導体用セラミック補助部品

窒化ケイ素センサーハウジングの微細穴加工-

高い信号取得精度を維持

 

OEM およびカスタマイズのオプション

  • 精密レーザー切断機を自由にカスタマイズ: さまざまな作業形式とレーザー出力レベルから選択できます。
  • シングル/デュアル カッティング ヘッド、デュアル光路を備えたデュアル ワークテーブルにアップグレードします。
  • 高精度の視覚的位置決めと完全に自動化されたロードおよびアンロード システムを装備し、よりスマートな生産を実現します。{0}

品質管理

  • フルチェーンの独立した制御により、一貫した機器のパフォーマンスが確保されます。{0}
  • サンプル加工とパラメータレポートによるプロセス検証
  • -切断品質と位置合わせのリアルタイム監視
  • 半導体-グレードの精度と信頼性のトレーサビリティ

アフターサービス-

  • 設置と試運転: -オンサイトまたはリモート サポート
  • オペレータートレーニング: ワークフローとメンテナンスに関する専門的な指導
  • 技術サポート: 年中無休のサポートとプロセスの最適化
  • スペアパーツと長期メンテナンス-

 

よくある質問

 

 

Q1: この機械はセラミックと金属半導体コンポーネントの両方を処理できますか?

A1: はい、セラミックス、特殊金属、複合材料に対応しております。

Q2: 最大切断厚さはどれくらいですか?

A2: 材質により異なりますが、最大12mmまでとなります。

Q3: マイクロ-穴およびマイクロ溝-加工はサポートされていますか?

A3: はい、セラミック基板、パッケージング部品、センサーハウジングについては可能です。

Q4: 特定の半導体材料に合わせてプロセスをカスタマイズできますか?

A4: はい、当社のソフトウェアでは、さまざまな材料や機能サイズに合わせてパラメータを調整できます。

 

 

 

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